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微波等离子气相沉积设备

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    微波等离子气相沉积设备详细介绍

    微波等离子气相沉积设备

    设备用于高效气相沉积。能够满足材料镀膜要求。设备能够满足快速沉积。作为微波等离子体化学气相沉积法设备，用以进行零件表面化学气相沉积，具备微波等离子体刻蚀加工、利用微波等离子体对材料表面进行改性、微波等离子体清洗材料表面、微波等离子体化学合成等功能。

    微波等离子气相沉积设备

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